高端航空大气压力传感器示范应用与产业化推 广

2024-09-12 Hits:

Affiliation of Participant(s):电子科技大学

Teaching and Research Group:MEMS中心

Status:在岗

Note:高精度谐振式压力传感器应用推广

Project description:航空大气压力传感器是表征精确压力的核心元器件，在航空航天和国防装备等领域具有战略性地位，在工业控制、测量计量和自动化等领域有着潜在巨大的经济价值。其应用面广、需求量大，是关乎国家安全和经济建设的基础元器件之一。
本项目产品“航空大气压力传感器”基于MEMS(微机电系统)加工工艺，采用“复合谐振梁-岛-膜”的谐振敏感结构，接口电路采用高精度全模拟AGC自激闭环控制系统，在综合精度、动态范围、功耗、重复性、温度漂移、长期稳定性等性能上具有优越的表现，同时基于数字化参数配置的功能可大幅提高敏感结构与闭环电路的适

Supported by:四川省科学技术厅

Project Number:2024ZHCG0050

Classification of Disciplines:Engineering