点击次数：

所属单位：电子科技大学

项目状态：四川

项目简要备注：MEMS器件漂移可靠性研究

项目来源单位：国家自然科学基金

成果形式：论文与专利

项目分类：国家自然科学基金面上项目

说明：本项目拟从实验、理论与仿真模拟三方面系统地研究复杂微观形貌电介质充电机理及物理模型。重点探索微纳尺度下电荷在非均匀及混合电介质表面及固体介质与气体介质界面的运动特性，阐明稳定平衡状态下电介质表面与界面电荷的分布规律，归纳总结出电介质充电时间及幅值与微观形貌参数的内在物理关系，建立电场-力场相互耦合作用下的电荷运动与电极变形跨尺度模型，提出高灵敏度电极在充电影响下的动力学分析方法，最终揭示复杂微观形貌电介质充电的根本物理机制。研究成果将进一步补充与完善现有电介质充电理论。

项目来源：国家自然科学基金

项目级别：国家级

项目编号：52075082

学科门类：工学

一级学科：机械工程

立项时间：2020-08-20

计划完成时间：2024-12-31

结项日期：2024-12-31

开始日期：2021-01-01

项目批准号：52075082