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所属单位：电子科技大学

教研室：MEMS中心

负责人姓名：周吴

项目状态：在岗

项目简要备注：与中国工程物理院电子工程研究所合作项目，平面马达转角的电容检测精度达0.01度，控制精度达0.1度。总经费169万。

项目来源单位：中国工程物理院电子工程研究所

说明：项目技术指标：
a) 0°姿态下步进控制精度：<0.1°；
b) 不同姿态下的步进控制精度（45°，90°，135°，180°）：<0.2°；
c) 长期重复性控制精度：<0.2°（总计需要测试7天*24h/天，每24小时完成步进圈数>1000圈，总计>7000圈步进，每圈的步进次数不低于20次，每次的步进角度控制精度<0.2°）；
d) 电容检测电路需要达到的检测精度：转子转动0.01°时，检测电路能够分辨出转子与定子转动0.01°时形成的电容变化量（即能分辨约0.8fF的电容变化量）；

项目来源：中国工程物理院电子工程研究所

项目参与人员：赵欣,马忠睿,于慧君,魏敦文,周涛