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个人信息Personal Information
教授 博士生导师
性别：男
毕业院校：西南交通大学
学历：博士研究生毕业
学位：工学博士学位
在职信息：在职人员
所在单位：机械与电气工程学院
入职时间：2010-08-20
学科：机械工程
办公地点：电子科技大学清水河校区成电国际创新中心B栋303
曾获荣誉：成都市“蓉漂”人才计划、深圳“鹏城孔雀计划”人才。
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An Improved SOI-on-Glass Fabrication Method of Large-Area Sheeting of MEMS Isolator
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所属单位：University of Electronic Science and Technology of China
教研室：MEMS中心
发表刊物：The 18th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2023)
刊物所在地：Jeju, Korea
全部作者：Longqi Ran,Jiangbo He,Zongda Hu,Yichuan Wu,Binlei Cao
通讯作者：Wu Zhou*
文献类型：C
页面范围：62-65
ISSN号：2474-3755
是否译文：否
发表时间：2023-07-31
发表时间：2023-07-31