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科研项目
论文成果
- Xiaohui Zhao. Preparation and thermoelectric characteristics of ITO/PtRh:PtRh thin film thermocouple.Nanoscale Research Letters.2017
- Xiaohui Zhao. Alumina composite coatings with enhanced high-temperature electrical insulating properties on Ni-based superalloy substrates.Ceramics International.2018,44(1):136-140
- Xiaohui Zhao. Enhanced thermoelectric property and stability of NiCr-NiSi thin film thermocouple on super alloy substrate.Rare Metals.2017,36(6):512-516
- Xiaohui Zhao,. Effect of nitrogen doping on the thermoelectric properties of ITO-In2O3 thin film thermocouples.Thin Solid Films.2017,629:1-5
- Xiaohui Zhao. Microstructure evolution and thermoelectric property of Pt-PtRh thin film thermocouples.Crystals.2017,7(4):96
研究领域
1. 薄膜材料制备
实验室拥有电子束蒸发、磁控溅射、等离子增强化学气相沉积（PECVD)、原子层沉积（ALD）多台薄膜制备设备，并建有万级超净间，能够实现氧化物、金属、半导体多种微纳薄膜材料的可控生长。
2. 薄膜微结构分析与表征
拥有XRD、SEM、TEM、AFM、XPS、Raman多项微结构测试与表征手段
3. 耐高温绝热绝缘涂层
实现了柔性金属衬底、陶瓷衬底的绝缘绝热涂层制备
4. 集成薄膜传感器
薄膜热电偶、薄膜热电阻、薄膜应变计、薄膜气体质量流量传感器、薄膜热流计等多种快响应薄膜传感器的制备与性能表征
主要应用
航空、航天、化工、能源、消费电子等领域
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科研
个人信息
- 性别：男
- 职称：研究员
- 毕业院校：爱荷华州立大学
- 学历：博士研究生毕业
- 学位：工学博士学位
- 所在单位：集成电路科学与工程学院（示范性微电子学院）
- 学科：
电子信息材料与元器件;
材料科学与工程
其他联系方式
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