复杂微观形貌电介质的充电机理及物理模型研究

2022-12-28 Hits:

Affiliation of Participant(s):电子科技大学

Status:四川

Note:MEMS器件漂移可靠性研究

Project source unit:国家自然科学基金

Type of Research Outcome:论文与专利

Classification of Project:国家自然科学基金面上项目

Project description:本项目拟从实验、理论与仿真模拟三方面系统地研究复杂微观形貌电介质充电机理及物理模型。重点探索微纳尺度下电荷在非均匀及混合电介质表面及固体介质与气体介质界面的运动特性，阐明稳定平衡状态下电介质表面与界面电荷的分布规律，归纳总结出电介质充电时间及幅值与微观形貌参数的内在物理关系，建立电场-力场相互耦合作用下的电荷运动与电极变形跨尺度模型，提出高灵敏度电极在充电影响下的动力学分析方法，最终揭示复杂微观形貌电介质充电的根本物理机制。研究成果将进一步补充与完善现有电介质充电理论。

Supported by:国家自然科学基金

Project level:国家级

Project Number:52075082

Classification of Disciplines:Engineering

First-Level Discipline:Mechanical engineering

Project Approval Number:52075082

Date of Project Approval:2020-08-20

Date of Project Initiation:2021-01-01

Scheduled completion time:2024-12-31

Date of Project Completion:2024-12-31