MEMS微镜隔振衬底设计及可靠性封装技术研究技术

2022-12-28 Hits:

Affiliation of Participant(s):电子科技大学

Leading Scientist:Wu Zhou

Status:四川

Note:华为合作项目，护航MEMS微镜过车规，经费206万。

Project source unit:华为技术有限公司2012实验室

Type of Research Outcome:样机与专利

Project description:探索一种具有隔振频带宽、衰减性能强、稳定时间快的微型隔振衬底，同时对隔振系统的微弹性梁设计、阻尼特性及MEMS 可靠性封装方案进行探索，最终助力MEMS 微镜系统通过AEC-Q100 车规认证。

Supported by:华为技术有限公司

Project level:横向技术开发

Project Participants:Longqi Ran,Jiangbo He

Classification of Disciplines:Engineering

First-Level Discipline:Mechanical engineering

Date of Project Approval:2021-01-31

Date of Project Initiation:2021-01-31

Scheduled completion time:2022-01-30

Date of Project Completion:2022-01-30